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li46646791木虫 (著名写手)
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拉曼光谱可以检测硅中低于0.1%含量的杂质元素吗？
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已知硅中杂质元素的含量，如铁铝钙硼磷等含量均在0.1%以下，我想通过拉曼光谱检测一下这些杂质元素与硅基体之间是否会形成某些结构或者物相，各位虫友，在这么低的含量下，不知道能否做到？ 另外对于硅中微量杂质元素的表征手段，侧重与结构物相方面，还有哪些可以做，谢谢。 |
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liu2004m
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【答案】应助回帖
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方法很多。 参见: 多晶硅中杂质含量、分布及其检测方法的探讨 http://www.docin.com/p-713826209.html 多晶硅样品中硼、磷及金属杂质测定与机理探讨 http://www.doc88.com/p-667159289462.html ICP-AES检测金属硅中的杂质 http://wenku.baidu.com/link?url= ... kea7Bc01dlNzraSScSO |
4楼2013-11-29 08:58:41