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li46646791

木虫 (著名写手)

[求助] 拉曼光谱可以检测硅中低于0.1%含量的杂质元素吗?

已知硅中杂质元素的含量,如铁铝钙硼磷等含量均在0.1%以下,我想通过拉曼光谱检测一下这些杂质元素与硅基体之间是否会形成某些结构或者物相,各位虫友,在这么低的含量下,不知道能否做到?
另外对于硅中微量杂质元素的表征手段,侧重与结构物相方面,还有哪些可以做,谢谢。
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

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【答案】应助回帖

估计拉曼检测不出这么低的含量吧
2楼2013-11-28 09:05:59
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li46646791

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by liu2004m at 2013-11-28 09:05:59
估计拉曼检测不出这么低的含量吧

有没有其它检测手段呢?
3楼2013-11-29 08:36:30
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by li46646791 at 2013-11-29 08:36:30
有没有其它检测手段呢?...

方法很多。
参见:
多晶硅中杂质含量、分布及其检测方法的探讨
http://www.docin.com/p-713826209.html
多晶硅样品中硼、磷及金属杂质测定与机理探讨
http://www.doc88.com/p-667159289462.html
ICP-AES检测金属硅中的杂质
http://wenku.baidu.com/link?url= ... kea7Bc01dlNzraSScSO
没有困难创造困难也要上网。
4楼2013-11-29 08:58:41
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