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神风独舞

金虫 (初入文坛)

[求助] 环氧树脂如何在硅片上均匀旋涂?

之前将树脂旋涂在蒸有金膜的硅片上,能得到薄而均匀的膜,现在蒸金设备故障,直接在硅片上旋涂,得到的膜并不均匀,其与硅片间润湿性差,请问选择什么样的硅片其与环氧间的润湿性会比较好?哪种表面修饰的硅片?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
神风独舞: 金币+50, ★有帮助, 还有太多需要我去学习,谢谢。 2013-12-03 10:19:11
HMDS熏蒸,找“静静一yi”去买。
环氧基的polymer很常见,溶剂选择也很重要。SU8就是环氧的,用的是γ丁内酯做溶剂。
2楼2013-11-27 16:55:29
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