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环氧树脂如何在硅片上均匀旋涂？
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| 之前将树脂旋涂在蒸有金膜的硅片上，能得到薄而均匀的膜，现在蒸金设备故障，直接在硅片上旋涂，得到的膜并不均匀，其与硅片间润湿性差，请问选择什么样的硅片其与环氧间的润湿性会比较好？哪种表面修饰的硅片？ |
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yswyx 
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2楼2013-11-27 16:55:29