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wuzhaofeng金虫 (正式写手)
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[交流]
观察薄膜截面，关于TEM制样的问题求助
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最近一直想用TEM观察薄膜截面，但作了几次总没有观察到薄膜和硅基底的分界面。 想请教一下做过的同学，等离子减薄应减到什么程度？要穿孔吗？孔应穿到多大？ |
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wuzhaofeng
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5楼2008-03-07 09:52:00
