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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 观察薄膜截面，关于TEM制样的问题求助
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wuzhaofeng

金虫 (正式写手)

[交流] 观察薄膜截面，关于TEM制样的问题求助

最近一直想用TEM观察薄膜截面，但作了几次总没有观察到薄膜和硅基底的分界面。
想请教一下做过的同学，等离子减薄应减到什么程度？要穿孔吗？孔应穿到多大？
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1楼 2007-12-21 16:12:12
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fanuq

银虫 (小有名气)
★
3040821025(金币+1,VIP+0):鼓励
观察薄面应该做对接膜
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3楼2007-12-21 18:23:55
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fqf

金虫 (正式写手)
我做过用SEM观察薄膜断面，没有过SEm
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2楼2007-12-21 17:51:05
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wuzhaofeng

金虫 (正式写手)

是做对接的，我的应该是最后减薄的问题，不知等离子减薄应减到什么程度

是做对接的，我的应该是最后减薄的问题，不知等离子减薄应减到什么程度，现在可以观察到部分膜（因为减薄只是减一小块区域），但我想观察到分界面
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4楼2007-12-21 22:37:47
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denniszzh

铁杆木虫 (正式写手)
你应该先在界面处凹坑，这样离子减薄会优先在界面处减出薄区。
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5楼2008-03-07 09:52:00
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