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wuzhaofeng金虫 (正式写手)
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[交流]
观察薄膜截面,关于TEM制样的问题求助
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最近一直想用TEM观察薄膜截面,但作了几次总没有观察到薄膜和硅基底的分界面。 想请教一下做过的同学,等离子减薄应减到什么程度?要穿孔吗?孔应穿到多大? |
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