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求助关于PECVD进样室预烘烤装置的资料
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腔体尺寸400*400*350mm，称底预处理温度不超过400度 预烘烤装置包括哪几个部分？ 加热源有哪些：碘钨灯？汞灯？或者电阻丝加热？都能达到要求么 测温热电偶有什么要求 如何控温腔体里的温度 有PECVD或者真空设备经验的虫友帮忙解答 最好有具体的资料 拜谢 |
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