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gzqabc

金虫 (正式写手)

[求助] 求助关于PECVD进样室预烘烤装置的资料

腔体尺寸400*400*350mm,称底预处理温度不超过400度
预烘烤装置包括哪几个部分?
加热源有哪些:碘钨灯?汞灯?或者电阻丝加热?都能达到要求么
测温热电偶有什么要求
如何控温腔体里的温度
有PECVD或者真空设备经验的虫友帮忙解答
最好有具体的资料
拜谢

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洄游之鱼

金虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
gzqabc(金币+4,VIP+0):感谢分享
500W卤钨灯管一支,控制电源一个。
可对溅射室烘烤100-150摄氏度。
镀膜室烘烤时,真空室壁面及观察窗温度不得超过100摄氏度。
对测温热偶没什么特别的要求,
只要能通过镀膜室或者法兰伸进镀膜室内部就可以。

[ Last edited by 洄游之鱼 on 2007-12-21 at 11:43 ]
嘿嘿,上面的话是瞎说的,你别信!
2楼2007-12-21 11:07:23
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洄游之鱼

金虫 (正式写手)

刚又给你补充了点儿:
对测温热偶没什么特别的要求,一般的热偶就行,因为本身镀膜室内的温度就不能升的太高的不是吗。
能否抗氧化也在其次,因为本身镀膜室内的氧含量就不高,溅射时就不用这个热偶测温了,当然为保险起见你也可以弄个抗氧化的。
只要能通过镀膜室或者法兰伸进镀膜室内部就可以。
嘿嘿,上面的话是瞎说的,你别信!
3楼2007-12-21 11:47:55
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