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gzqabc

金虫 (正式写手)

[求助] 求助关于PECVD进样室预烘烤装置的资料

腔体尺寸400*400*350mm，称底预处理温度不超过400度
预烘烤装置包括哪几个部分？
加热源有哪些：碘钨灯？汞灯？或者电阻丝加热？都能达到要求么
测温热电偶有什么要求
如何控温腔体里的温度
有PECVD或者真空设备经验的虫友帮忙解答
最好有具体的资料
拜谢
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1楼 2007-12-21 10:24:21
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洄游之鱼

金虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
gzqabc(金币+4,VIP+0):感谢分享
500W卤钨灯管一支，控制电源一个。
可对溅射室烘烤100－150摄氏度。
镀膜室烘烤时，真空室壁面及观察窗温度不得超过100摄氏度。
对测温热偶没什么特别的要求，
只要能通过镀膜室或者法兰伸进镀膜室内部就可以。

[ Last edited by 洄游之鱼 on 2007-12-21 at 11:43 ]
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嘿嘿，上面的话是瞎说的，你别信！
2楼2007-12-21 11:07:23
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洄游之鱼

金虫 (正式写手)
刚又给你补充了点儿：
对测温热偶没什么特别的要求，一般的热偶就行，因为本身镀膜室内的温度就不能升的太高的不是吗。
能否抗氧化也在其次，因为本身镀膜室内的氧含量就不高，溅射时就不用这个热偶测温了，当然为保险起见你也可以弄个抗氧化的。
只要能通过镀膜室或者法兰伸进镀膜室内部就可以。
赞一下 回复此楼
嘿嘿，上面的话是瞎说的，你别信！
3楼2007-12-21 11:47:55
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