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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » TiO2 如何磁控溅射？
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痞子衍生物

金虫 (小有名气)

[交流] TiO2 如何磁控溅射？

磁控溅射的TiO2的靶材哪里能买到？价钱怎么样?一般的TiO2薄膜怎么制备的。要求具有高绝缘性。
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1楼 2007-12-20 17:02:41
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yici

木虫 (小有名气)
在氧气气氛下溅射Ti靶就可以了,控制氧气的流量可以改变Ti和O的化学计量比.
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2楼2007-12-21 12:37:44
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granular

木虫 (著名写手)
楼上 好办法

不过 买TiO2靶也可以 北京的有研亿金卖
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3楼2007-12-21 14:21:17
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zhenzhen2006

欧莱应该有
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4楼2007-12-21 16:00:47
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wwei

铜虫 (小有名气)
直接上金属钛靶，做反应溅射
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5楼2007-12-21 16:40:29
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fanuq

银虫 (小有名气)
我觉得cvd方法更好些吧， TiO2制备的技术应该很成熟的
江雷不是搞那个很强的么，看看他的文献
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6楼2007-12-21 23:17:32
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