北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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chenmeng_413

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻工艺

请教一下高手,我在用正胶做光刻,可做出来的效果都不怎么理想,有没有能提供一些相关参数的,本人感激不尽!
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1没有光刻胶的型号,2没有照片甚至所谓不理想的描述,3没有图形的尺寸和结构,4没有光刻设备和环境的说明。

你这个问题就是“麻烦大家猜猜我脑子里是咋想的吧”
你老板是怎么教的?最基本的科研教育都没有啊!
4楼2013-11-22 11:47:32
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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你这个描述的不清楚,图形不理想有很多种,首先要把结果摆出来才好给你分析,起码要拍个显微镜吧。光刻结果受很多条件影响: 光刻胶显影液质量、匀胶厚度、曝光时间、光强、显影时间等......    每种影响因素会导致不同的结果产生,so,去拍照吧
Youjustfocus
2楼2013-11-22 09:30:02
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ydeng2639

木虫 (小有名气)

半导体纳米材料

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
除以上基本问题,还有
做的线宽和线距是多少?
用的是哪个型号的光刻设备?
不做专家对不起自己
3楼2013-11-22 10:04:00
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