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用氧化硅做绝缘层制作FET器件。(求助)
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| 我用pecvd方法镀了一层200nm的氧化硅薄膜当成绝缘层制成FET器件,测量时栅源之间的电流和源漏之间的电流可以比拟,是氧化硅薄膜的问题吗?各位大侠指点。 |
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yswyx
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