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求助,我有一个炉子要通还原性气体,如何保证没有氧气
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yujianaa
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性别: GG
专业: 半导体材料
[
求助
]
求助,我有一个炉子要通还原性气体,如何保证没有氧气
现在试了各种方法,效果还是不明显。
比如说,抽3次,充3次
或者是一直保持gas flow
或者每隔一段时间换一次气
做出来效果都没有手套箱内部效果好(O<0.5ppm)
求问大神啊
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
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感谢参与,应助指数 +1
首先确保炉子的密封性,将漏气率尽可能的降低;
其次是所有来充气的气体的氧气含量需要尽可能低。
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2楼
2013-11-14 00:23:06
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专业: 半导体电子器件
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
可以先坐Helium leakage test....
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2013-11-14 10:51:52
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