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zhouyang2012

金虫 (小有名气)

[求助] 请问用什么抛光设备？

我的一些样片需抛光，去掉孔阵列上溅射的SmCo膜 大概200nm厚  保留空内部的材料  形成独立的PM  一直找不到合适方法  据说CMP可以做  但不知道哪里有   所以求助各位无所不能的虫友。这是找的一个图 材料不一样  去掉上面的凸起
 http://\"请问用什么抛光设备？\"
请问用什么抛光设备？-1
QQ截图20131112152643.png

[ Last edited by zhouyang2012 on 2013-11-12 at 15:29 ]
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1楼 2013-11-12 15:15:21
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