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zhouyang2012金虫 (小有名气)
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[求助]
请问用什么抛光设备？
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我的一些样片需抛光，去掉孔阵列上溅射的SmCo膜 大概200nm厚 保留空内部的材料 形成独立的PM 一直找不到合适方法 据说CMP可以做 但不知道哪里有 所以求助各位无所不能的虫友。这是找的一个图 材料不一样 去掉上面的凸起 http:// ![\"请问用什么抛光设备？\"](\"https://muchongimg.xmcimg.com/data/bcs/2013/1112/w229h2212581_1384241221_261.png#opennewwindow\")  QQ截图20131112152643.png [ Last edited by zhouyang2012 on 2013-11-12 at 15:29 ] |
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