| 查看: 628 | 回复: 3 | |||
[求助]
苏州地区有RIE或者ICP可供加工压电材料的吗
|
|
如题 除了苏州大学和中科院纳米所 苏州地区或者周边地区 不知大家知道还有没有别的加工平台 可以加工刻蚀压电陶瓷/单晶材料的RIE或者ICP（需要配备Cl基cl2或Bcl3气体，或Ar，功率最好能上500 w） 盼不吝赐教 |
回复此楼
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2013-11-08 13:13:40
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
- 散金: 117
- 红花: 5
- 帖子: 332
- 在线: 428.4小时
- 虫号: 2238571
- 注册: 2013-01-13
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
3楼2013-11-08 14:52:43
4楼2013-11-08 15:10:54
28