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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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simplejane

铜虫 (小有名气)

[求助] 苏州地区有RIE或者ICP可供加工压电材料的吗

如题
除了苏州大学和中科院纳米所
苏州地区或者周边地区
不知大家知道还有没有别的加工平台
可以加工刻蚀压电陶瓷/单晶材料的RIE或者ICP(需要配备Cl基cl2或Bcl3气体,或Ar,功率最好能上500 w)
盼不吝赐教
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
124685887: 专家考核, 谢谢 2013-11-08 19:14:06
氯气啊,不行,没有对外做的,腔体完全不是同一种,刻金属的那种才行。
2楼2013-11-08 13:13:40
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
上氯气,真空泵坏得很快
3楼2013-11-08 14:52:43
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simplejane

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-08 13:13:40
氯气啊,不行,没有对外做的,腔体完全不是同一种,刻金属的那种才行。

嗯,对的。就是因为这比较难找。。。不知道江浙沪地区这边还有什么单位能加工呢
4楼2013-11-08 15:10:54
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