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苏州地区有RIE或者ICP可供加工压电材料的吗
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如题 除了苏州大学和中科院纳米所 苏州地区或者周边地区 不知大家知道还有没有别的加工平台 可以加工刻蚀压电陶瓷/单晶材料的RIE或者ICP（需要配备Cl基cl2或Bcl3气体，或Ar，功率最好能上500 w） 盼不吝赐教 |
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