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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 苏州地区有RIE或者ICP可供加工压电材料的吗
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simplejane

铜虫 (小有名气)

[求助] 苏州地区有RIE或者ICP可供加工压电材料的吗

如题
除了苏州大学和中科院纳米所
苏州地区或者周边地区
不知大家知道还有没有别的加工平台
可以加工刻蚀压电陶瓷/单晶材料的RIE或者ICP（需要配备Cl基cl2或Bcl3气体，或Ar，功率最好能上500 w）
盼不吝赐教
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1楼 2013-11-08 11:11:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
124685887: 专家考核, 谢谢 2013-11-08 19:14:06
氯气啊，不行，没有对外做的，腔体完全不是同一种，刻金属的那种才行。
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2楼2013-11-08 13:13:40
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
上氯气，真空泵坏得很快
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3楼2013-11-08 14:52:43
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simplejane

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-08 13:13:40
氯气啊，不行，没有对外做的，腔体完全不是同一种，刻金属的那种才行。

嗯，对的。就是因为这比较难找。。。不知道江浙沪地区这边还有什么单位能加工呢
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4楼2013-11-08 15:10:54
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