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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 离子束溅射产额与角度的问题
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yangsai1030

新虫 (初入文坛)

[交流] 离子束溅射产额与角度的问题 已有2人参与

现在有没有确定的推导出 溅射额与角度的一个关系呢？
有做离子束蚀刻这块的吗  给个联系方式  有些不懂得可以相互讨论一下
哎  好悲催 我们实验室那么大 就我一个人做这块的  我老师也不是很了解这一块 我现在就是帮别人刻蚀下材料什么的
今年研二了  其他人人都投过文章了 自己还没着落  压力好大
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1楼 2013-10-31 19:49:48
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
好好做，会有结果的，加油！
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哈哈哈哈，来吧
4楼2013-11-01 00:59:10
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Nordictokyo

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
推荐楼主看以下文章：
[1985] Angular distribution of particles sputtered from targets by keV Ar ion bombardment
另外，离子束溅射的话，美国的Maryland大学的Melgailis是大牛，你可以参看他的组的论文。
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3楼2013-11-01 00:35:53
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