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关于非晶硅微晶硅叠层太阳电池制备过程中非晶硅晶化的问题
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叠层太阳电池，结构依次为玻璃/透明电极/非晶硅/隧道结/微晶硅/底电极，制备方法PECVD 前面没有任何问题，但是在沉积微晶硅的过程中，顶电池出现晶化的现象，看了不少文章无法解决此问题 求达人推荐几篇做的好的文章我来学习一下，最好附带简单说明 先谢过各路高手 |
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