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新虫 (初入文坛)

[交流] 谁知道磁控溅射有哪些型号的设备？ 已有6人参与

谁知道磁控溅射有哪些型号的设备？
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1楼 2013-10-29 10:11:47
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cstt2007

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
靶材尺寸D=80MM,我感觉这个参数影响不是很重要，自己试一下差不多就行，
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13楼2013-11-05 23:37:34
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cstt2007

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我用的是JPG450，这只是沈科仪的一种型号，上官网可以查查他们产的所有型号
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2楼2013-10-29 14:49:08
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捐助贵宾 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
太多了，楼主要做什么？
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3楼2013-10-29 19:35:02
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李天帮

木虫 (正式写手)

小小木虫
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
沈科仪，他家的设备至少经验上还不错。
但是买设备这个还是要看你的需求，比如要做多大的片子，单片还是多片，打算溅射什么材料，预算是什么水平的。
比如沈科仪做中型设备还可以，大型设备南光比较有经验（尽管他们做蒸发的多），小设备推荐中科院微电子所八室。如果需要和进口设备类似水平的设备，那个可以给你找牛人定做，国内很多牛所都有他的设备，单子做不过
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事虽难，做则成；路虽远，行则至。
4楼2013-10-29 22:24:42
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