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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 微纳结构尺寸确定
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395714753

银虫 (小有名气)

[交流] 微纳结构尺寸确定

各位前辈们，你们设计的微纳结构的尺寸一般是怎么确定的？是靠实验还是仿真，还是···？
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1楼 2013-10-22 20:03:58
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
★
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最终还是要靠各种几何尺寸测量来确认器件的制造工艺是否合理

[ Last edited by reninhat on 2013-12-7 at 17:07 ]
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9楼2013-12-07 17:02:15
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qingpingzi

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
实验前仿真设计，加工完了测量。
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2楼2013-10-23 08:48:01
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395714753

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qingpingzi at 2013-10-23 08:48:01
实验前仿真设计，加工完了测量。

那请问一下，最开始那个尺寸是怎么得到的？
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3楼2013-10-24 15:11:35
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qingpingzi

新虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 395714753 at 2013-10-24 15:11:35
那请问一下，最开始那个尺寸是怎么得到的？...

理论计算加仿真
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4楼2013-10-25 13:00:57
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