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分子泵与前级泵的抽速匹配问题 已有1人参与
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实验室MBE分子泵已经损坏2次，老板叫我们来找找问题看看是由于我们自己的操作失误造成的还是由于MBE系统设计造成的。所以来这里请教下大家，是什么原因导致我们MBE分子泵出现故障。 1.所用分子泵为Agilent Navigator V1001（抽速为1000 L/s）。前级泵配的是SH-110（抽速为1.5 L/s）。请问大家这样匹配么？之前有老师说前级泵的抽速不够大，但是MBE工作时内部气体只有1 Sccm左右，这样的话1.5 L/s的前级泵绰绰有余。麻烦问下大家，这么解释合理不？ 2.我们一般在腔体压力达到5*10E-1 Torr然后开启分子泵。这么操作的话前级压力对于分子泵来说是不是高了点？还是说影响不大，可以接受？ 3.MBE工作时，没有通液氮，对于分子泵寿命有影响么？如果有，是不是造成其很快就损坏的主要原因？ 4.MBE开腔次数过多（比如半个月内10次）是否会对分子泵的寿命造成很大影响？ 谢谢大家！ |
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lelelbom
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