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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 化工设备 » 静设备 » 分子泵与前级泵的抽速匹配问题
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wellisgod

铁虫 (初入文坛)

[求助] 分子泵与前级泵的抽速匹配问题 已有1人参与

实验室MBE分子泵已经损坏2次，老板叫我们来找找问题看看是由于我们自己的操作失误造成的还是由于MBE系统设计造成的。所以来这里请教下大家，是什么原因导致我们MBE分子泵出现故障。

1.所用分子泵为Agilent Navigator V1001（抽速为1000 L/s）。前级泵配的是SH-110（抽速为1.5 L/s）。请问大家这样匹配么？之前有老师说前级泵的抽速不够大，但是MBE工作时内部气体只有1 Sccm左右，这样的话1.5 L/s的前级泵绰绰有余。麻烦问下大家，这么解释合理不？

2.我们一般在腔体压力达到5*10E-1 Torr然后开启分子泵。这么操作的话前级压力对于分子泵来说是不是高了点？还是说影响不大，可以接受？

3.MBE工作时，没有通液氮，对于分子泵寿命有影响么？如果有，是不是造成其很快就损坏的主要原因？

4.MBE开腔次数过多（比如半个月内10次）是否会对分子泵的寿命造成很大影响？

谢谢大家！
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1楼 2013-10-17 10:05:01
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lelelbom

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
threight: 金币+1, 谢谢分享 2013-10-17 13:14:58
建议多看一下手册，一般开泵先开冷却装置，第二级在规定真空到了后开，一般也可以用肉眼判断二级泵转子基本停了后再开，这样不容易过载，造成设备轴弯曲磨损，跳停，及时加油润滑，不专业请不要打开维修，因为有间隙要求的，
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2楼2013-10-17 12:34:13
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lin凡

铁虫 (小有名气)
先开启冷却水，开启前级泵，等真空到达规定的真空度，然后逐级开启。有手动和自动两项，自己选择。
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3楼2013-10-20 17:56:10
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wdxzcuyms

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

0.5Torr有点高了，一般要求10Pa以下再开。MBE的液氮和分子泵啥关系？你们分子泵没有自带的冷却装置（水冷or风冷）吗？破空时的关泵顺序一定要注意呀。你们半个月破10次确实频率高了。
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4楼2018-03-29 14:21:30
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