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tanhongwei

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 3.8
帖子: 15
在线: 66.1小时
虫号: 1187075
注册: 2011-01-10
性别: GG
专业: 半导体材料

[求助] 硅在空气中高温热氧化厚度与温度与时间关系

各位虫友好，
小弟想请问一下重掺P的n型单晶硅片（100取向且抛光），放在空气气氛下1100摄氏度（先升到1000度保温30min然后经60min升到1100度再保温30min）退火后，在硅表面热氧化的二氧化硅大概多厚？SEM界面可以看出来么？不胜感谢！

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我爱物理

1楼 2013-10-11 16:56:48

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

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