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zx0819

银虫 (小有名气)

[求助] 如何改善硅的润湿性

我欲在硅表面沉积微球,PS或是二氧化硅的微球,但是硅的润湿性不好,微球生长质量较差。
我知道的方法是处理硅表面,但是我在薄膜硅上做的,硅膜本身非常薄,处理硅对薄膜硅性能影响太大,此法行不通
求问各位虫友,如何改善此问题,我想得到的方法是从微球乳液考虑,如何选取能够良好润湿硅的溶剂或是添加剂?
大牛们支个招吧
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思想
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YFovY

金虫 (小有名气)

是多厚的薄膜?氧等离子体打一下行不行?
2楼2013-10-13 22:21:01
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zx0819

银虫 (小有名气)

薄膜只有20nm厚
思想
3楼2013-10-15 14:24:46
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