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[求助]
大家帮帮忙！fluent模拟CVD沉积反应，可是没有沉积，不知道是什么问题，求助大家 已有1人参与
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我用fluent做化学沉积模拟，可是不知道为什么总是得不到沉积率。还望各位大侠帮帮忙了！！ 模型结构图和反应式如下，precursor3是TMGA,precursor4是TMAS. 我把cas和data文件也上传下，希望有好心人帮我看看是不是什么设置问题！ 非常感谢！！  1.jpg  2.jpg |
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2013-10-09 15:11:08, 1.32 M
2013-10-09 15:11:15, 2.39 M
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