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大家帮帮忙!fluent模拟CVD沉积反应,可是没有沉积,不知道是什么问题,求助大家 已有1人参与
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我用fluent做化学沉积模拟,可是不知道为什么总是得不到沉积率。还望各位大侠帮帮忙了!! 模型结构图和反应式如下,precursor3是TMGA,precursor4是TMAS. 我把cas和data文件也上传下,希望有好心人帮我看看是不是什么设置问题! 非常感谢!! 1.jpg 2.jpg |
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2013-10-09 15:11:08, 1.32 M
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