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小土西

新虫 (初入文坛)

[求助] 大家帮帮忙!fluent模拟CVD沉积反应,可是没有沉积,不知道是什么问题,求助大家 已有1人参与

我用fluent做化学沉积模拟,可是不知道为什么总是得不到沉积率。还望各位大侠帮帮忙了!!
模型结构图和反应式如下,precursor3是TMGA,precursor4是TMAS.
我把cas和data文件也上传下,希望有好心人帮我看看是不是什么设置问题!
非常感谢!!大家帮帮忙!fluent模拟CVD沉积反应,可是没有沉积,不知道是什么问题,求助大家
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大家帮帮忙!fluent模拟CVD沉积反应,可是没有沉积,不知道是什么问题,求助大家-1
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小七工作室1

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

模型本身有问题,建议了解下气路
2楼2015-06-26 09:41:39
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