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cishitianya银虫 (小有名气)
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[求助]
微波等离子体化学气相沉积
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请教哪位虫友用过ASTeX型反应器（装置有点落后，应该不是研究的热点了），用于等离子体化学气相沉积。本人急于确定课题方向，可是无人指点，装置可以放电，但是一大堆问题：1、本低气压几pa（需不需要分子泵）。2、通Ar能达到200pa，（不知道有没有必要做Ar放电）3，没法检测凡是功率。4、不知道该如何调节天线、活塞、托台的位置。5、改变气压、功率放电不稳定，关键是放点位置不固定，不是像文献上所说的放点球，检测岂不是成了大问题。6、除了用SEM和SFM检测外还可以用吧写方法诊断。 谢谢，请高人指点。 |
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