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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » a-Si:H非晶硅薄膜的红外光谱具体怎么测试？
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rxn824

银虫 (小有名气)

[求助] a-Si:H非晶硅薄膜的红外光谱具体怎么测试？

想测试下PECVD制备的非晶硅薄膜材料的红外吸收光谱，将非晶硅薄膜沉积在单晶硅片上，但是：
1. 测试的时候不知道多大厚度可以测到吸收光谱？
2.测试应该选择透射模式还是反射模式？
3.反射模式的话怎样制样？怎样测试？

非常感谢各位的帮助!!!
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不信好运
1楼 2013-09-20 11:41:16
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ssfantasy

银虫 (正式写手)
同样在学这个，还有SiO2中的H含量定量分析如何用FTIR作
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挣点钱真不容易
2楼2013-09-20 17:56:11
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夜冷冷

木虫 (著名写手)

硅基薄膜太阳能电池

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我让别人测过，文献报道厚度在~500nm，应该薄一点也没什么关系；
一般都是利用透射模式下测得；
不知道你想得到一些什么信息？
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既然选择了远方就只顾风雨兼程~
3楼2013-09-22 08:32:01
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rxn824

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 夜冷冷 at 2013-09-22 08:32:01
我让别人测过，文献报道厚度在~500nm，应该薄一点也没什么关系；
一般都是利用透射模式下测得；
不知道你想得到一些什么信息？

想测下我们沉积的非晶硅膜中硅氢的成键模式，根据积分后的结构因子估算硅膜的性能，谢谢！

透射模式的话还需要用空白硅片做背景吗？
其实我不懂得是硅片本身透光性不好啊，为什么用透射模式呢？
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不信好运
4楼2013-09-22 13:15:13
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夜冷冷

木虫 (著名写手)

硅基薄膜太阳能电池

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
rxn824: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-09-22 22:58:29
我记得需要测空白硅片，制备非晶硅薄膜之前一定要清洗一下抛光硅片，以免对测试样品造成影响。
根据FTIR你只计算微结构因子？难道不计算氢含量？
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既然选择了远方就只顾风雨兼程~
5楼2013-09-22 20:08:25
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rxn824

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 夜冷冷 at 2013-09-22 20:08:25
我记得需要测空白硅片，制备非晶硅薄膜之前一定要清洗一下抛光硅片，以免对测试样品造成影响。
根据FTIR你只计算微结构因子？难道不计算氢含量？

要计算氢含量的，忘记说了，

非常感谢，明天先沉积测试下。。。
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不信好运
6楼2013-09-22 22:57:57
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ssfantasy

银虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 夜冷冷 at 2013-09-22 20:08:25
我记得需要测空白硅片，制备非晶硅薄膜之前一定要清洗一下抛光硅片，以免对测试样品造成影响。
根据FTIR你只计算微结构因子？难道不计算氢含量？

你好，请问a-Si的H含量怎么计算呀，我看到书上有SiNx的计算方法，用峰面积算，没看到a-Si中H的计算方法
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挣点钱真不容易
7楼2013-09-23 08:42:42
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rxn824

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by ssfantasy at 2013-09-23 08:42:42
你好，请问a-Si的H含量怎么计算呀，我看到书上有SiNx的计算方法，用峰面积算，没看到a-Si中H的计算方法...

现在测试完了，没问题，正在用高斯积分拟合
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不信好运
8楼2013-09-24 13:19:29
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ssfantasy

银虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by rxn824 at 2013-09-24 13:19:29
现在测试完了，没问题，正在用高斯积分拟合...

求教学，求指导呀

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挣点钱真不容易
9楼2013-09-24 13:27:37
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liujj2015

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by rxn824 at 2013-09-24 13:19:29
现在测试完了，没问题，正在用高斯积分拟合...

想问您一下，这个用来测FTIR的硅片有什么要求吗？电阻率，单抛双抛，大小什么的。。谢谢！

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10楼2017-05-17 12:45:06
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