应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 干法刻蚀
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
61/1返回列表
查看: 2373  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 干法刻蚀

请问ICP和RIE刻蚀的本质区别是什么？为什么ICP不能刻蚀厚的石英基板（50mm）,而RIE则可以？有人说ICP刻蚀厚基板时偏压加不上去，那为什么RIE可以呢？望高人指导！不胜感激！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2013-09-14 16:15:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fangzhonga

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
RIE刻蚀过程中，片子就是放在RF源的两平板电极之间，并不额外给片子加偏压。这样的话，离子源的功率只有几百瓦，同时加上去，刻蚀主要靠化学反应，物理效应较少，很难刻蚀较深的结构。而ICP通常是给片子加几十瓦的RF，离子源是独立的几千W。
此外，刻蚀气体也很重要。RIE刻蚀氧化硅一般是SF6和CHF3混合。而一般的ICP貌似用SF6的居多，SF6不太能刻的动氧化硅，片子又加不上偏压，物理效应也少，可能就是刻不动了。你最好确定一下你那台ICP的刻蚀气体。
赞一下(2人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

chc33
2楼2013-09-14 22:21:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小风12

金虫 (正式写手)
好帖
回复此楼
tranqulity
3楼2013-09-15 12:40:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chc33

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by fangzhonga at 2013-09-14 22:21:15
RIE刻蚀过程中，片子就是放在RF源的两平板电极之间，并不额外给片子加偏压。这样的话，离子源的功率只有几百瓦，同时加上去，刻蚀主要靠化学反应，物理效应较少，很难刻蚀较深的结构。而ICP通常是给片子加几十瓦的R ...

您好，我们使用的是CHF3和Ar气的混合气体，我发现现在刻蚀一段时间后刻蚀机腔里面会有类似碳的聚合物，那么用SF6的话刻蚀后的片子会不会聚合物少些？看上去干净些，谢谢！
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2013-09-16 07:21:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

928737123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by chc33 at 2013-09-16 07:21:13
您好，我们使用的是CHF3和Ar气的混合气体，我发现现在刻蚀一段时间后刻蚀机腔里面会有类似碳的聚合物，那么用SF6的话刻蚀后的片子会不会聚合物少些？看上去干净些，谢谢！...

机台该清理了
回复此楼
5楼2017-09-03 19:08:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1024247900

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by chc33 at 2013-09-16 07:21:13
您好，我们使用的是CHF3和Ar气的混合气体，我发现现在刻蚀一段时间后刻蚀机腔里面会有类似碳的聚合物，那么用SF6的话刻蚀后的片子会不会聚合物少些？看上去干净些，谢谢！...

SF6的刻蚀速率非常快，主要因为F自由基浓度较高，和湿法BOE的刻蚀形貌类似，腔体会干净一些。但是如果对刻蚀形貌有要求的话，CHF3和Ar也不能不用，CHF3在PLASMA中生成polymer来进行侧壁保护，Ar进行垂直的离子轰击。最好自己建一个dry clean的recipe进行自清腔，但是根本还是需要定期开腔擦拭腔体。
赞一下 回复此楼
为了梦想加油！
6楼2017-09-17 10:47:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 chc33 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学求调剂，各位老师看看我！！！ +3 祁祺祺 2026-03-25 3/150 2026-03-27 13:25 by shangxh
[考研] 一志愿北京化工大学材料与化工 264分各科过A区国家线 +10 哈哈157349 2026-03-21 10/500 2026-03-27 13:06 by zzll406
[考研] 317求调剂 +4 十闲wx 2026-03-24 4/200 2026-03-27 12:08 by 不吃魚的貓
[考研] 调剂推荐 +5 清酒714 2026-03-26 6/300 2026-03-27 11:12 by 不吃魚的貓
[考研] 一志愿211院校 344分 东北农业大学生物学学硕，求调剂 +5 丶风雪夜归人丶 2026-03-26 6/300 2026-03-27 10:15 by barness
[考研] 276求调剂。有半年电池和半年高分子实习经历 +10 材料学257求调剂 2026-03-23 11/550 2026-03-27 10:13 by YCIT- LHL
[考研] 294分080500材料科学与工程求调剂 +4 柳溪边 2026-03-26 4/200 2026-03-26 21:14 by XPU李庆
[考研] 求调剂 +6 白QF 2026-03-21 6/300 2026-03-26 20:37 by fmesaito
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-03-26 3/150 2026-03-26 19:57 by nihaoar
[考研] 材料与化工304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-26 6/300 2026-03-26 18:03 by 邱gl
[考研] 085600 材料与化工 329分求调剂 +9 Mr. Z 2026-03-25 9/450 2026-03-26 10:36 by baoball
[考研] 一志愿上海交大生物与医药专硕324分，求调剂 +6 jiajunX 2026-03-22 6/300 2026-03-25 23:05 by licg0208
[考研] 332求调剂 +6 032500 2026-03-25 6/300 2026-03-25 22:45 by 418490947
[考研] 318求调剂 +5 plum李子 2026-03-21 8/400 2026-03-25 09:26 by aa331100
[考研] 289材料与化工（085600）B区求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-22 5/250 2026-03-25 08:20 by mx.yue
[考研] 340求调剂 +5 话梅糖111 2026-03-24 5/250 2026-03-25 06:53 by ilovexiaobin
[考研] 0703化学调剂，求导师收 +7 天天好运来上岸� 2026-03-24 7/350 2026-03-24 20:26 by peike
[考研] 一志愿北化315 求调剂 +3 akrrain 2026-03-24 3/150 2026-03-24 19:35 by 了了了了。。
[考研] 307求调剂 +3 余意卿 2026-03-21 6/300 2026-03-24 15:03 by 余意卿
[考研] 276求调剂 +3 YNRYG 2026-03-21 4/200 2026-03-23 08:31 by 醉在风里
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭