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干法刻蚀
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| 请问ICP和RIE刻蚀的本质区别是什么？为什么ICP不能刻蚀厚的石英基板（50mm）,而RIE则可以？有人说ICP刻蚀厚基板时偏压加不上去，那为什么RIE可以呢？望高人指导！不胜感激！ |
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fangzhonga
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