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sunwh_cool

木虫 (正式写手)

[求助] 有没有比较耐高温的光刻胶呢

我想在有光刻胶的情况下,在衬底的指定位置(用光刻胶控制区域)旋涂点溶液,然后加热让溶质能和衬底接触牢固一点,再把光刻胶去除。这样可行吗,加热温度控制在100度左右吧。
我们用的光刻胶超声都掉不了,是加热时间太长了吧,请求帮助啊!最好不超声也可以洗掉的光刻胶,或者有其他办法吗?
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cz.87101

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
sunwh_cool: 金币+5, 有帮助, 稍微有了点信心。。。 2013-09-13 13:42:30
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流,常来工艺技术版 2013-09-13 15:58:01
大多数光刻胶耐高温200℃都没问题,你这才100℃,不知题目所云
只有能打死的蚊子,没有能打死的小强!而偶就是打不死的小强!
2楼2013-09-13 12:41:30
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cz.87101 at 2013-09-13 12:41:30
大多数光刻胶耐高温200℃都没问题,你这才100℃,不知题目所云

主要是100度长时间加热后 去胶去不净 是否和加热时间有关 能推荐几款光刻胶(最好比较常见的) 长时间(100度2h~4h)加热后也可以轻松去胶 不用超声的吗?
3楼2013-09-13 13:40:58
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cz.87101

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
sunwh_cool(scu2020代发): 金币+1, 感谢应助交流,常来工艺技术版 2013-09-13 15:58:08
sunwh_cool: 金币+9, 谢谢帮助 2013-09-14 08:29:45
200℃3h都没问题的。。。。。
不知道你们用的什么光刻胶,如何去胶的?

去胶不干净与加热时间关系不太大,主要还是去胶液成分比例。


我们用的最多的是苏州瑞红的Su-8,

去胶用专门的去胶液,泡一会(几分钟)就掉了,无需超声,去胶很彻底。
只有能打死的蚊子,没有能打死的小强!而偶就是打不死的小强!
4楼2013-09-13 13:49:13
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

如果后烘时间过长,光刻胶坚膜厚就会很难去除,必须超声,一般丙酮等去胶试剂都跑不掉的。
15501697107
5楼2013-09-24 22:17:59
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米啦米

新虫 (初入文坛)

6楼2014-01-08 19:10:06
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