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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 有没有比较耐高温的光刻胶呢
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)

[求助] 有没有比较耐高温的光刻胶呢

我想在有光刻胶的情况下，在衬底的指定位置（用光刻胶控制区域）旋涂点溶液，然后加热让溶质能和衬底接触牢固一点，再把光刻胶去除。这样可行吗，加热温度控制在100度左右吧。
我们用的光刻胶超声都掉不了，是加热时间太长了吧，请求帮助啊！最好不超声也可以洗掉的光刻胶，或者有其他办法吗？
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1楼 2013-09-12 20:36:50
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cz.87101

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
sunwh_cool: 金币+5, ★有帮助, 稍微有了点信心。。。 2013-09-13 13:42:30
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2013-09-13 15:58:01
大多数光刻胶耐高温200℃都没问题，你这才100℃，不知题目所云
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只有能打死的蚊子，没有能打死的小强！而偶就是打不死的小强！
2楼2013-09-13 12:41:30
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cz.87101 at 2013-09-13 12:41:30
大多数光刻胶耐高温200℃都没问题，你这才100℃，不知题目所云

主要是100度长时间加热后 去胶去不净 是否和加热时间有关 能推荐几款光刻胶（最好比较常见的） 长时间（100度2h～4h）加热后也可以轻松去胶 不用超声的吗？
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3楼2013-09-13 13:40:58
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cz.87101

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
sunwh_cool(scu2020代发): 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2013-09-13 15:58:08
sunwh_cool: 金币+9, 谢谢帮助 2013-09-14 08:29:45
200℃3h都没问题的。。。。。
不知道你们用的什么光刻胶，如何去胶的？

去胶不干净与加热时间关系不太大，主要还是去胶液成分比例。


我们用的最多的是苏州瑞红的Su-8，

去胶用专门的去胶液，泡一会（几分钟）就掉了，无需超声，去胶很彻底。
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只有能打死的蚊子，没有能打死的小强！而偶就是打不死的小强！
4楼2013-09-13 13:49:13
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静
如果后烘时间过长，光刻胶坚膜厚就会很难去除，必须超声，一般丙酮等去胶试剂都跑不掉的。
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15501697107
5楼2013-09-24 22:17:59
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米啦米

新虫 (初入文坛)
PI胶
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6楼2014-01-08 19:10:06
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