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西塔小西西

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gxytju2008

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步进电机应该可以到nm级别精度,不过不知道你要怎么用
2楼2013-09-12 19:27:51
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用塞尺好了。
或者光刻?
3楼2013-09-12 20:37:05
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)

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4楼2013-09-13 09:13:54
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西塔小西西

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5楼2013-09-13 09:19:38
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babyoflion

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【答案】应助回帖

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你这不是说的两极间距离吗?怎么又变成深度100um了?光刻很容易制备出槽的啊
6楼2013-09-13 12:35:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2013-09-13 09:19:38
啊啊啊,对不起我没说明白,那啥,我的两极间需要封装液体,所以这个spacer需要构成一个槽子来盛装液体,我想塞尺可能不合适直接做spacer,不过倒是可以用它来测间距……

至于光刻,我只做过几微米深的光刻,上 ...

两个塞尺或者塞尺冲个孔不就可以构成槽子嘛……
你这个结构说的不清不楚的……
7楼2013-09-13 13:50:45
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