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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 如何在百微米尺度上精确控制两极间距
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西塔小西西

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1楼 2013-09-12 16:48:58
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
步进电机应该可以到nm级别精度，不过不知道你要怎么用
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2楼2013-09-12 19:27:51
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用塞尺好了。
或者光刻？
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3楼2013-09-12 20:37:05
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西塔小西西

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4楼2013-09-13 09:13:54
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西塔小西西

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5楼2013-09-13 09:19:38
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这不是说的两极间距离吗？怎么又变成深度100um了？光刻很容易制备出槽的啊
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6楼2013-09-13 12:35:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2013-09-13 09:19:38
啊啊啊，对不起我没说明白，那啥，我的两极间需要封装液体，所以这个spacer需要构成一个槽子来盛装液体，我想塞尺可能不合适直接做spacer，不过倒是可以用它来测间距……

至于光刻，我只做过几微米深的光刻，上 ...

两个塞尺或者塞尺冲个孔不就可以构成槽子嘛……
你这个结构说的不清不楚的……
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7楼2013-09-13 13:50:45
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