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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻模拟

请问目前的光刻中常用的模拟软件主要有哪些,我主要想模拟光刻胶经过曝光显影后的槽型。谢谢!
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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问问英特神思有没有光刻显影的仿真模块
3楼2013-09-07 18:03:49
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
Prolith,solid-C
时间很久了,不知道这些软件还存在不。

而且,也没什么好模拟的,只要不是百纳米以下的尺度,都是很成熟的。
2楼2013-09-07 12:48:59
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