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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻模拟
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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻模拟

请问目前的光刻中常用的模拟软件主要有哪些，我主要想模拟光刻胶经过曝光显影后的槽型。谢谢！
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1楼 2013-09-07 08:16:36
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Prolith，solid-C
时间很久了，不知道这些软件还存在不。

而且，也没什么好模拟的，只要不是百纳米以下的尺度，都是很成熟的。
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2楼2013-09-07 12:48:59
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
问问英特神思有没有光刻显影的仿真模块
赞一下 回复此楼
3楼2013-09-07 18:03:49
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