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微流控芯片 小通道做不好。
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| 我们的微流控芯片用光刻法做的,宽度是30μm,在硅片上显影后通道非常好,但用PDMS浇注后明显发现通道一起被扯下来,请教大家这种小通道芯片的做法有没有什么绝招? 是否SU-8胶不能加热太长时间,我们一般是95℃,2-3min。 |
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15楼2014-01-24 09:27:54
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babyoflion
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