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dingdings

金虫 (小有名气)

[求助] 微流控芯片 小通道做不好。

我们的微流控芯片用光刻法做的,宽度是30μm,在硅片上显影后通道非常好,但用PDMS浇注后明显发现通道一起被扯下来,请教大家这种小通道芯片的做法有没有什么绝招? 是否SU-8胶不能加热太长时间,我们一般是95℃,2-3min。
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dingdings

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by apple1010 at 2013-09-05 04:36:49
SU8的mask做好后,需要用FOTS处理一下,使其表面更疏水,PDMS就很容易完好的弄下来了。

不是,是小通道很容易从硅片上掉下。我们有硅烷化的~
3楼2013-09-05 09:48:41
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apple1010

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
SU8的mask做好后,需要用FOTS处理一下,使其表面更疏水,PDMS就很容易完好的弄下来了。
人,总得有点追求!
2楼2013-09-05 04:36:49
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
release53: 金币+1, 感谢对虫友的帮助~~~ 2013-09-08 15:05:49
第一 你只说了宽度是30um,没有提到高度,这个是很关键的;
第二 su8胶一般都要2min烘烤时间 要不铰链不好,这个时间是没有问题的
第三,脱落一种原因是表面和PDMS粘附力太好或者是SU-8与基地粘附力太差,可以考虑增粘 一般好像用HMDS
另外,pdms是硅烷类材料吧 如果表面硅烷化是不是更加粘附在一起了 这个不太懂
4楼2013-09-05 13:47:32
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dingdings

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2013-09-05 13:47:32
第一 你只说了宽度是30um,没有提到高度,这个是很关键的;
第二 su8胶一般都要2min烘烤时间 要不铰链不好,这个时间是没有问题的
第三,脱落一种原因是表面和PDMS粘附力太好或者是SU-8与基地粘附力太差,可以考虑 ...

PDMS是模具的材料,不是硅烷化试剂,高度是100μm,求问你是做芯片的嘛?怎么可能不知道PDMS呢!!
5楼2013-09-08 13:06:53
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