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cishitianya

银虫 (小有名气)

[求助] MPCVD

请教哪位虫友用过ASTeX型反应器（装置有点落后，应该不是研究的热点了），用于等离子体化学气相沉积。本人急于确定课题方向，可是无人指点，装置可以放电，但是一大堆问题：1、本低气压几pa（需不需要分子泵）。2、通Ar能达到200pa，（不知道有没有必要做Ar放电）3，没法检测凡是功率。4、不知道该如何调节天线、活塞、托台的位置。5、改变气压、功率放电不稳定，关键是放点位置不固定，不是像文献上所说的放点球，检测岂不是成了大问题。
谢谢，请高人指点。
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1楼 2013-08-30 16:46:56
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cishitianya

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhily2000 at 2013-09-03 10:35:47
放电气压太低，ASTeX型反应器放电气压一般是几个kPa。
不知道你的装置最大输出功率是多少？

首先谢谢你的回复。
1、功率200~1000可调，功率的波动让人捉摸不透，有时几瓦的变化，有时几十瓦变化，估计和水温和工作时间有关；我们也没有微波功率计，不知道如何使耦合到腔室内的功率最大？
2、导师也让测个几千瓦试试，可是不知道要安装什么阀门控制使抽气减少？即使在20Pa~200pa的气压范围内，也不是就一直放电？
3、天线、活塞、托台该如何合理调节才可以出现等离子体球？我看文献有本低气压10-3pa的，是不是还需要分子泵？
4、另外，老师能否给一些参考文献或者书籍，好像介绍这种装置的文献很少。
再次感谢！
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3楼2013-09-03 11:31:44
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zhily2000

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
cishitianya: 金币+20, ★★★很有帮助 2013-09-03 11:32:26
放电气压太低，ASTeX型反应器放电气压一般是几个kPa。
不知道你的装置最大输出功率是多少？
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cishitianya
2楼2013-09-03 10:35:47
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