| 查看: 439 | 回复: 2 | ||
cishitianya银虫 (小有名气)
|
[求助]
MPCVD
|
|
请教哪位虫友用过ASTeX型反应器（装置有点落后，应该不是研究的热点了），用于等离子体化学气相沉积。本人急于确定课题方向，可是无人指点，装置可以放电，但是一大堆问题：1、本低气压几pa（需不需要分子泵）。2、通Ar能达到200pa，（不知道有没有必要做Ar放电）3，没法检测凡是功率。4、不知道该如何调节天线、活塞、托台的位置。5、改变气压、功率放电不稳定，关键是放点位置不固定，不是像文献上所说的放点球，检测岂不是成了大问题。 谢谢，请高人指点。 |
回复此楼» 猜你喜欢
谭编的ECbox电化学分析软件，请提供下载链接
已经有0人回复
-
TLC观测一些显色不灵敏化合物
已经有2人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有270人回复
-
结晶态硅酸钠中硅含量测定
已经有2人回复
-
硅肥中硅含量测定
已经有1人回复
-
RuFe
已经有0人回复
-
ecoflex 0030的分子式
已经有0人回复
-
南京工业大学古铮荣教授（国家级高层次人才）团队招聘博士后和青年教师
已经有0人回复
-
南京工业大学古铮荣教授（国家级高层次人才）团队招聘博士后和青年教师
已经有0人回复
-
南京工业大学古铮荣教授（国家级高层次人才）团队招聘博士后和青年教师
已经有1人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
zhily2000
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2744.6
- 散金: 44
- 红花: 3
- 帖子: 615
- 在线: 105.9小时
- 虫号: 662515
- 注册: 2008-11-26
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
cishitianya: 金币+20, ★★★很有帮助 2013-09-03 11:32:26
cishitianya: 金币+20, ★★★很有帮助 2013-09-03 11:32:26
|
放电气压太低，ASTeX型反应器放电气压一般是几个kPa。 不知道你的装置最大输出功率是多少？ |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
cishitianya2楼2013-09-03 10:35:47
cishitianya
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 372.9
- 散金: 20
- 红花: 1
- 帖子: 133
- 在线: 80.7小时
- 虫号: 2003296
- 注册: 2012-09-15
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
3楼2013-09-03 11:31:44