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cishitianya银虫 (小有名气)
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[求助]
MPCVD
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请教哪位虫友用过ASTeX型反应器（装置有点落后，应该不是研究的热点了），用于等离子体化学气相沉积。本人急于确定课题方向，可是无人指点，装置可以放电，但是一大堆问题：1、本低气压几pa（需不需要分子泵）。2、通Ar能达到200pa，（不知道有没有必要做Ar放电）3，没法检测凡是功率。4、不知道该如何调节天线、活塞、托台的位置。5、改变气压、功率放电不稳定，关键是放点位置不固定，不是像文献上所说的放点球，检测岂不是成了大问题。 谢谢，请高人指点。 |
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zhily2000
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【答案】应助回帖
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cishitianya: 金币+20, ★★★很有帮助 2013-09-03 11:32:26
cishitianya: 金币+20, ★★★很有帮助 2013-09-03 11:32:26
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放电气压太低，ASTeX型反应器放电气压一般是几个kPa。 不知道你的装置最大输出功率是多少？ |
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cishitianya2楼2013-09-03 10:35:47
cishitianya
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3楼2013-09-03 11:31:44
