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PLD准分子激光器
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| 激光器的光斑汇聚到靶面出现了分块，而在反光镜、聚焦境和石英窗上观察不到分块。石英窗内侧出现黑斑。分块的原因和黑斑是否有关系，光斑分块对薄膜沉积是否有影响，怎么样解决？ |
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