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[求助] 相干激光准分子激光器发生故障，求助！

本人做镀膜实验，需要用到激光溅射靶材生长薄膜。实验室用的是LAMBDAPHYSIK公司的COMPexPro® Series 系列激光器。最近使用的时候，突然在激光溅射的过程中发出刺耳的击打金属声，然后激光器就停了。之后按正常步骤开启，都会出现刺耳的鸣响声，控制机器的面板显示激光能量为0.重新钝化，换气后还是不起作用，请问是出了什么问题哈？

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磁控溅射靶材资料大全

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1楼 2013-08-07 11:41:03

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probecn

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【答案】应助回帖

电容爆掉了.换一个就好了.面板上会有错误代码.

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2楼2013-09-17 09:57:58

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引用回帖:

2楼: Originally posted by probecn at 2013-09-17 09:57:58
电容爆掉了.换一个就好了.面板上会有错误代码.

对的！谢谢。电容爆掉了一颗。怎么把金币送给你呢？

3楼2013-12-02 20:45:00

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