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[求助]
相干激光准分子激光器发生故障，求助！
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| 本人做镀膜实验，需要用到激光溅射靶材生长薄膜。实验室用的是LAMBDAPHYSIK公司的COMPexPro® Series 系列激光器。最近使用的时候，突然在激光溅射的过程中发出刺耳的击打金属声，然后激光器就停了。之后按正常步骤开启，都会出现刺耳的鸣响声，控制机器的面板显示激光能量为0.重新钝化，换气后还是不起作用，请问是出了什么问题哈？ |
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 磁控溅射靶材资料大全 |
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3楼2013-12-02 20:45:00
2楼2013-09-17 09:57:58
