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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 请教CVD系统的真空泵
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lmbe

木虫 (正式写手)

[交流] 请教CVD系统的真空泵

CVD系统用于制备纳米材料，常会抽真空。

看文章里面说用机械泵，手头有上海仪表的2XZ-4真空泵，说明书明确说明，不能用于抽易燃气体。

南京大学的老师直接用的油泵，我比他怕死，不敢用。

请教应该选择何种真空泵？真空度可调的。

我是新手，请各位大侠指教。
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1楼 2007-11-13 18:35:18
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Cinderella2006

网上应该有吧？
我们的真空泵是前几年买的，听说两三百钱
从来不用易燃易爆气体。危险！
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4楼2007-11-18 10:55:28
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cariyas

木虫 (小有名气)
我们用的也是油泵阿
好好的好挺安全的
放心把
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2楼2007-11-13 20:23:06
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lmbe

木虫 (正式写手)
佩服你的胆量，俺不敢
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3楼2007-11-13 20:26:03
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Cinderella2006

网上应该有吧？
我们的真空泵是前几年买的，听说两三百钱
从来不用易燃易爆气体。危险！
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5楼2007-11-18 10:56:18
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