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请教CVD系统的真空泵
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CVD系统用于制备纳米材料,常会抽真空。 看文章里面说用机械泵,手头有上海仪表的2XZ-4真空泵,说明书明确说明,不能用于抽易燃气体。 南京大学的老师直接用的油泵,我比他怕死,不敢用。 请教应该选择何种真空泵?真空度可调的。 我是新手,请各位大侠指教。 |
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cariyas
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