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请教CVD系统的真空泵
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CVD系统用于制备纳米材料，常会抽真空。 看文章里面说用机械泵，手头有上海仪表的2XZ-4真空泵，说明书明确说明，不能用于抽易燃气体。 南京大学的老师直接用的油泵，我比他怕死，不敢用。 请教应该选择何种真空泵？真空度可调的。 我是新手，请各位大侠指教。 |
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cariyas
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