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hzcc木虫 (正式写手)
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想求告诉解决一个问题！本人向通过电子束蒸发的方法制备Ta薄膜，现在不知道采用什么料舟装料，因为Ta的熔点相当高，接近３０００度，可以选择作为料舟的材料不多了，W应该是其中之一，但是W和Ta之间是否会有互溶的情况呢？另外，对于Ta料，如果采用细小的粉末状Ta粉为蒸发源时候会使其更容易蒸发呢，这样是否可以考虑其他熔点相对低点的料舟呢，比如Al2O3坩锅等。 曾经有人用Cu坩锅作为料舟来蒸发Cr粉末，而且成功了，要知道Cr的熔点为１８００多度，而Cu的熔点才１０８０左右。 请高手指点指点，尤其是有够电子束蒸发实验相关经历的同学老师多提意见！非常感谢！ |
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