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用AFM测器件表面功率谱密度时采样点数的影响 已有1人参与
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对物品的平滑度要求很高，需要知道特定Si片的功率谱密度分布，于是用AFM进行了测量，发现在扫描区域相同，其他参数设置相同，仅采样点数不同时得到的功率谱密度有非常明显的区别。如下图（采样点分别为512及1024，对数值进行了log处理） 在高频部分的突起我理解为针横向移动出现的虚假PSD数值，但是可以发现在低频部分PSD值也有非常大的区别（如MATLAB画图结果的截图，此处已将数值还原成非log处理）。想不清楚这是什么原因造成的，另外：到底哪个是正确的呢？  PSD-1024.png  compare_red1024_blue512.png  PSD-512.png [ Last edited by iris6550 on 2013-8-14 at 16:17 ] |
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2楼2014-11-05 09:33:42