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iris6550

新虫 (小有名气)

[求助] 用AFM测器件表面功率谱密度时采样点数的影响已有1人参与

对物品的平滑度要求很高,需要知道特定Si片的功率谱密度分布,于是用AFM进行了测量,发现在扫描区域相同,其他参数设置相同,仅采样点数不同时得到的功率谱密度有非常明显的区别。如下图(采样点分别为512及1024,对数值进行了log处理)

在高频部分的突起我理解为针横向移动出现的虚假PSD数值,但是可以发现在低频部分PSD值也有非常大的区别(如MATLAB画图结果的截图,此处已将数值还原成非log处理)。想不清楚这是什么原因造成的,另外:到底哪个是正确的呢?



用AFM测器件表面功率谱密度时采样点数的影响
PSD-1024.png


用AFM测器件表面功率谱密度时采样点数的影响-1
compare_red1024_blue512.png
用AFM测器件表面功率谱密度时采样点数的影响-2
PSD-512.png



[ Last edited by iris6550 on 2013-8-14 at 16:17 ]
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encounteryou

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

楼主请问下matlab里面怎么求psd啊?我自己算出来的跟文献里面的图不一样,可以帮我一下吗?
2楼2014-11-05 09:33:42
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