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freyalovers

银虫 (小有名气)

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10楼: Originally posted by iris6550 at 2013-08-19 16:03:57
请问你说的计算软件是大概有哪些?之前没试过用软件做这些。
关于这个方法,我有一个问题。因为针的形状是下小上大,被测物的高度会不会也影响被过大估计的值呢?比如横向一样尺度的结构A,B, 结构B高低起伏较大, ...

有一个比较牛的软件叫做SPIP,但是要花钱买的。还有一个免费的软件,叫做Wxsm,你可以上网去下载,不要钱,但是功能要差很多。


关于宽度变大的问题,你的担心是完全正确的,分析也很到位。可以想象一个方形的台阶,扫描得到的轮廓图应该是一个类似高斯曲线的东西,和实际的形貌差异还是比较大的。不过高度不同,得到的形貌变形量差异也很大,一般说,如果表面起伏小的话,或者要求不高,那么可以忽略掉这个影响。
11楼2013-08-20 08:12:50
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iris6550

新虫 (小有名气)

内容已删除
12楼2013-08-20 16:21:28
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