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lwb870525

木虫 (著名写手)

[求助] GaN比接触电阻

有测过P-GaN的的比接触电阻的吗?很多文献中都认为是Ni/Au金属组合为最佳电极,且采用圆点传输线模型方法较为可靠。但是偶有一个疑问:用圆点传输线模型方法测试的时候,与样品的尺寸大小和形状有关系么?
比如说:在一个完整的外延片、半个外延片、1/4个外延片上作出同样的测试图形,对测试出的结果会有影响吗?

附圆点测试模型图形:
GaN比接触电阻
CTLM测试图形.jpg
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喵123456

新虫 (初入文坛)

2楼2016-07-04 11:12:58
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