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derjoey

铜虫 (初入文坛)

[求助] 寻求帮助,电极面板MEMS微加工

(小生初涉论坛,金币有限,深表歉意,但对您的感激无法用金币来表达的。)
具体的加工产品如下图所示,图是用solidworks+ps做的,有不清楚的请见谅。
ps:电极面板尺寸除了上面一层是平整的聚酰亚胺薄膜,并且厚度在5-15微米厚的要求之外,其它的参数均可以随着加工工艺而更改;(这个图毕竟只是草图)

希望能够加工这个的相关的企业或者研究所或者实验室能够帮助到我;
也希望热心的网友能够给予无视的帮助;
我将对你们的回复深表感激。
寻求帮助,电极面板MEMS微加工
100个电极+面板(3D图)+说明.png10个引出线写错了,应该是引出线。


寻求帮助,电极面板MEMS微加工-1
100个电极+面板(侧视图)+说明.png


寻求帮助,电极面板MEMS微加工-2
100个电极+面板(上视图)+说明.png

[ Last edited by derjoey on 2013-7-18 at 22:45 ]
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yswyx

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
derjoey: 金币+10, ★有帮助, 3 2013-08-05 07:55:49
干嘛做那么高的铜柱?完全没必要啊。
衬底只有50um,纸一样薄,拿都没办法拿。
你这个是TSV结构,如果用硅衬底,加工难度很大,良率也不高,整个一套工艺做下来,会很贵的。
如果电极尺寸是超过mm级的,建议用PCB板实现,不要纠结衬底厚度。
如果一定要图纸上的结果,也不是不可以,不过都是很变态的工艺方法,有些方法只是脑子里觉得合理,但是还要实验。
做这个东西,要有经费,也要有时间上的耐心。可以短信我。
2楼2013-07-19 13:28:52
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