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[求助]
寻求帮助，电极面板MEMS微加工
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（小生初涉论坛，金币有限，深表歉意，但对您的感激无法用金币来表达的。） 具体的加工产品如下图所示，图是用solidworks+ps做的，有不清楚的请见谅。 ps：电极面板尺寸除了上面一层是平整的聚酰亚胺薄膜，并且厚度在5-15微米厚的要求之外，其它的参数均可以随着加工工艺而更改；(这个图毕竟只是草图) 希望能够加工这个的相关的企业或者研究所或者实验室能够帮助到我； 也希望热心的网友能够给予无视的帮助； 我将对你们的回复深表感激。  100个电极+面板(3D图)+说明.png10个引出线写错了，应该是引出线。  100个电极+面板(侧视图)+说明.png  100个电极+面板(上视图)+说明.png [ Last edited by derjoey on 2013-7-18 at 22:45 ] |
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2楼2013-07-19 13:28:52