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求助！~电镀金出现黑色颗粒 已有1人参与
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Hey all, 在Si wafer上电镀上金结果镀出来的都是黑色的颗粒状，一点一点的，吸附力也不强，手一摸就掉了，请问大神们这是怎么回事啊TAT 我先在硅片上用蒸发（evaporation）镀了一层Cr再在上面镀了一层金，然后用SU-8 2050 作为光刻材料，得到面积为19.13mm^2的图案，厚度希望是50 um，用的是脉冲电镀，参数如下 正向(fwd) 反向（rev） I=4mA I=16mA 持续时间 100ms 持续时间10ms Ton= 2ms Ton=1ms Toff= 1ms Toff=0.5ms 有效电流是1.8mA 镀了五分钟拿出来看了一下就变这样了，显微镜拍了照片给大家做下参考。。 求各位大神帮忙！！~  有人告诉我要减小电流，请问具体要减小到多少？另外参数中有任何不妥也请大家提出来，谢谢！ 图案里的小黑点就是电镀的金。。  3.jpg [ Last edited by lodgezhao on 2013-7-18 at 04:23 ] |
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