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lodgezhao

新虫 (初入文坛)

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专业: 金属结构材料

[求助] 求助！~电镀金出现黑色颗粒已有1人参与

Hey all,

在Si wafer上电镀上金结果镀出来的都是黑色的颗粒状，一点一点的，吸附力也不强，手一摸就掉了，请问大神们这是怎么回事啊TAT

我先在硅片上用蒸发（evaporation）镀了一层Cr再在上面镀了一层金，然后用SU-8 2050 作为光刻材料，得到面积为19.13mm^2的图案，厚度希望是50 um，用的是脉冲电镀，参数如下

  正向(fwd)                                  反向（rev）
I=4mA                                        I=16mA
持续时间 100ms                      持续时间10ms
Ton= 2ms                               Ton=1ms
Toff= 1ms                               Toff=0.5ms

有效电流是1.8mA
镀了五分钟拿出来看了一下就变这样了，显微镜拍了照片给大家做下参考。。
求各位大神帮忙！！~

有人告诉我要减小电流，请问具体要减小到多少？另外参数中有任何不妥也请大家提出来，谢谢！

图案里的小黑点就是电镀的金。。

求助！~电镀金出现黑色颗粒

3.jpg

[ Last edited by lodgezhao on 2013-7-18 at 04:23 ]

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1楼 2013-07-18 04:22:05

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兰陵小磊

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

【答案】应助回帖

你好，这个黑色颗粒你弄明白是什么了吗？怎么形成的？

2楼2018-08-17 21:52:42

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