[求助] 求助！~电镀金出现黑色颗粒已有1人参与

Hey all,

在Si wafer上电镀上金结果镀出来的都是黑色的颗粒状，一点一点的，吸附力也不强，手一摸就掉了，请问大神们这是怎么回事啊TAT

我先在硅片上用蒸发（evaporation）镀了一层Cr再在上面镀了一层金，然后用SU-8 2050 作为光刻材料，得到面积为19.13mm^2的图案，厚度希望是50 um，用的是脉冲电镀，参数如下

  正向(fwd)                                  反向（rev）
I=4mA                                        I=16mA
持续时间 100ms                      持续时间10ms
Ton= 2ms                               Ton=1ms
Toff= 1ms                               Toff=0.5ms

有效电流是1.8mA
镀了五分钟拿出来看了一下就变这样了，显微镜拍了照片给大家做下参考。。
求各位大神帮忙！！~

有人告诉我要减小电流，请问具体要减小到多少？另外参数中有任何不妥也请大家提出来，谢谢！

图案里的小黑点就是电镀的金。。

3.jpg

[ Last edited by lodgezhao on 2013-7-18 at 04:23 ]

回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

UASB小型设备出水酸臭，水中悬浮有大量细小黑色颗粒物，水色发黑，什么原因？已经有6人回复
纳米贵金属颗粒表面电荷已经有9人回复
微米金属颗粒测试TEM怎么制样？已经有10人回复
不锈钢生锈，表面还有绿色颗粒已经有10人回复
金颗粒长这样？已经有9人回复
金相腐蚀后样品电镜观察表面有很多小颗粒是怎么回事呢已经有38人回复
从5-50纳米粒径的金纳米颗粒的UV吸收峰波长是多少？已经有7人回复
小颗粒金纳米制备已经有7人回复
为什么水溶液制备金纳米颗粒出现了不同的形状，而且两个粒子还有融合的现象？已经有10人回复
在金颗粒表面修饰带巯基（-SH）大分子有什么特殊条件吗已经有13人回复
【求助】请问：紫外可见分光光度计（UV-Vis）可以测黑色的磁性颗粒或者磁性液体么？已经有8人回复
【求助】合成金属纳米颗粒过程中加入的柠檬酸钠的作用？已经有9人回复
【求助】水泥中单矿物阿利特进行水化实验时颗粒大小应该是多少已经有6人回复
【求助】求金包铁（Fe3O4纳米颗粒）怎么做，的制备工艺。已经有15人回复
【求助】请教砂纸型号与颗粒大小的问题已经有8人回复
【求助】请教二氧化硅纳米颗粒的3D分子式能这样表示吗？已经有4人回复
【求助】颗粒大小和晶粒尺寸已经有19人回复
【通告】重金属催化剂越黑越好，颗粒越细越好吗？已经有9人回复
【求助】对镍钨合金进行热处理时候表面出现白色颗粒状物质，可以用投射电镜表征出来吗已经有5人回复

1楼 2013-07-18 04:22:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

兰陵小磊

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 962.6
帖子: 59
在线: 43.9小时
虫号: 4054584
注册: 2015-09-06
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

【答案】应助回帖

你好，这个黑色颗粒你弄明白是什么了吗？怎么形成的？

赞一下

回复此楼

2楼2018-08-17 21:52:42